Trong các nhà máy sản xuất chip bán dẫn, pin mặt trời hay luyện kim màu, có một loại khí mà chỉ cần rò rỉ ở nồng độ cực nhỏ cũng có thể gây tử vong trong vài giờ mà không hề có dấu hiệu cảnh báo rõ ràng bằng giác quan. Đó chính là Arsine (AsH3) - một trong những loại khí độc nguy hiểm bậc nhất được sử dụng trong công nghiệp hiện đại. Vì đặc tính "vô hình, âm thầm, chết người" này, việc trang bị cảm biến khí AsH3 không còn là lựa chọn mà đã trở thành yêu cầu bắt buộc tại nhiều cơ sở sản xuất.

KHÍ AsH3 (ARSINE) LÀ GÌ MÀ CẦN GIÁM SÁT CHẶT CHẼ?

Arsine (công thức hóa học AsH3) là hợp chất khí không màu, và ở nồng độ thấp có mùi hơi giống tỏi hoặc cá ươn, nhưng ngưỡng cảm nhận mùi của con người (khoảng 0,5 ppm) đã cao hơn nhiều so với ngưỡng gây độc nguy hiểm. Nói cách khác, khi con người ngửi được mùi khí thì cơ thể đã hấp thụ một lượng Arsine đủ để gây hại.

Mức độ nguy hiểm của Arsine đến từ ba yếu tố chính:

• Arsine tấn công trực tiếp hồng cầu, gây tan máu à tổn thương thận, gan. Nồng độ khoảng 250 ppm có thể gây tử vong chỉ sau vài phút tiếp xúc.
• Không có cảnh báo cảm quan đáng tin cậy vì mùi khí xuất hiện quá muộn để làm tín hiệu cảnh báo an toàn.
• Người tiếp xúc có thể cảm thấy bình thường trong vài giờ đầu, sau đó mới xuất hiện triệu chứng đau đầu, buồn nôn, vàng da - khi đó tổn thương nội tạng đã ở mức nghiêm trọng.

SƠ LƯỢC VỀ CẢM BIẾN KHÍ AsH3 (ARSINE)

Cảm biến khí AsH3 là thiết bị được thiết kế chuyên biệt để phát hiện sự hiện diện của khí Arsine trong không khí ở nồng độ rất thấp (thường tính bằng đơn vị ppb-phần tỷ, hoặc ppm-phần triệu), từ đó phát tín hiệu cảnh báo trước khi nồng độ khí đạt ngưỡng gây nguy hiểm cho con người và thiết bị.

Một hệ thống cảm biến AsH3 điển hình gồm các thành phần:

• Đầu dò cảm biến (Sensor head): Tiếp xúc trực tiếp với môi trường, phát hiện phân tử khí Arsine
• Bộ xử lý tín hiệu: Chuyển đổi tín hiệu cảm biến thành giá trị nồng độ (ppm/ppb)
• Bộ điều khiển/hiển thị: Hiển thị nồng độ, cài đặt ngưỡng cảnh báo
• Còi/đèn cảnh báo: Phát tín hiệu âm thanh, ánh sáng khi vượt ngưỡng
• Ngõ ra tín hiệu (4-20mA, Relay, Modbus...): Kết nối với hệ thống điều khiển trung tâm (PLC/SCADA), kích hoạt hệ thống thông gió khẩn cấp

Các thông số quan trọng cần quan tâm khi lựa chọn cảm biến AsH3 bao gồm: dải đo (range), độ phân giải, thời gian đáp ứng (response time), độ chọn lọc khí (selectivity) hay là khả năng không bị nhiễu bởi các khí khác có mặt trong môi trường sản xuất bán dẫn như phosphine (PH3), silane (SiH4), hay các hợp chất Clo.

CÔNG NGHỆ SỬ DỤNG NHIỀU NHẤT TRONG CẢM BIẾN KHÍ AsH3

Trên thị trường hiện nay, có ba nhóm công nghệ chính được ứng dụng phổ biến để chế tạo cảm biến khí Arsine, mỗi công nghệ có ưu - nhược điểm riêng phù hợp với từng mục đích sử dụng:

1. Cảm biến điện hóa: Đây là công nghệ phổ biến nhất cho các thiết bị đo khí cầm tay và cố định tầm trung. Nguyên lý hoạt động dựa trên phản ứng oxy hóa-khử xảy ra khi khí Arsine tiếp xúc với điện cực, sinh ra dòng điện tỷ lệ thuận với nồng độ khí. Ưu điểm là độ nhạy cao, chi phí hợp lý, kích thước nhỏ gọn; nhược điểm là tuổi thọ cảm biến giới hạn (thường 1-2 năm) và cần hiệu chuẩn định kỳ.

2. Cảm biến bán dẫn oxit kim loại (MOS-Metal Oxide Semiconductor) Sử dụng vật liệu bán dẫn (thường là SnO2) thay đổi điện trở khi tiếp xúc với khí Arsine. Công nghệ này có độ bền cơ học cao, phản hồi nhanh, phù hợp với môi trường công nghiệp khắc nghiệt, tuy nhiên đòi hỏi hiệu chỉnh để giảm nhiễu chéo với các khí khác.

3. Cảm biến quang học/Laser hấp thụ (Photoionization/Laser-based) Ứng dụng trong các hệ thống giám sát nồng độ cực thấp (ppb), thường dùng tại các nhà máy sản xuất chip bán dẫn quy mô lớn-nơi yêu cầu độ chính xác và độ chọn lọc gần như tuyệt đối. Chi phí đầu tư cao hơn nhưng đổi lại độ tin cậy và tuổi thọ vượt trội.

Trong thực tế triển khai, cảm biến điện hóa vẫn là lựa chọn được sử dụng rộng rãi nhất nhờ sự cân bằng giữa hiệu năng, độ nhạy và chi phí vận hành-đặc biệt phù hợp với các nhà máy vừa và nhỏ tại Việt Nam.

ỨNG DỤNG THỰC TẾ CỦA CẢM BIẾN KHÍ AsH3 (ARSINE)

Khí Arsine phát sinh chủ yếu như một sản phẩm phụ hoặc nguyên liệu trung gian trong một số ngành công nghiệp đặc thù. Dưới đây là các lĩnh vực bắt buộc phải lắp đặt hệ thống cảnh báo khí AsH3:

• Sản xuất chất bán dẫn và vi mạch điện tử
• Sản xuất pin năng lượng mặt trời
• Luyện kim và tinh chế kim loại màu
• Công nghiệp hóa chất và xử lý nước thải công nghiệp
• Kho chứa, vận chuyển khí công nghiệp đặc chủng

Tại các khu vực này, cảm biến khí AsH3 thường được lắp đặt theo cụm, kết hợp với hệ thống thông gió tự động và liên động với dây chuyền sản xuất. Khi phát hiện rò rỉ, hệ thống sẽ tự động ngắt nguồn cấp khí, kích hoạt quạt hút và sơ tán cảnh báo ngay lập tức.

CẢM BIẾN KHÍ AsH3 (ARSINE) PROSENSE - THƯƠNG HIỆU UY TÍN TOÀN CẦU

Hiện nay, các dòng cảm biến khí ASH3 (Arsine) của Prosense là lựa chọn hàng đầu của nhiều doanh nghiệp nhờ được định hướng chuyên sâu cho môi trường công nghiệp. 

Prosense - Thổ Nhĩ Kỳ là đơn vị có uy tín cao trong mảng cảm biến công nghiệp nói chung. Các sản phẩm của hãng được người dùng đánh giá cao ở độ tin cậy, tính ổn định, độ bền trong môi trường công nghiệp và khả năng tích hợp hệ thống linh hoạt. Với tín hiệu ngõ ra chuẩn công nghiệp (0-10V, 4-20mA và RS485), thiết bị hoàn toàn có thể kết nối trực tiếp vào tủ điều khiển/PLC/hệ thống giám sát tập trung.

Bên cạnh đó, các dòng cảm biến dò khí AsH3 của Prosense còn đặc biệt phù hợp cho các khu vực yêu cầu kiểm soát an toàn chặt chẽ như tầng hầm, phòng kỹ thuật, khu vực có nguy cơ cháy nổ, khu vực xử lý hóa chất đặc thù... Đây là lý do mà sản phẩm cảm biến khí ASH3 (Arsine) của Prosense thường được ưu tiên lựa chọn cho các ứng dụng yêu cầu tính ổn định dài lâu, khả năng vận hành liên tục và độ tin cậy cao.

→ Xem thêm: Dòng sản phẩm cảm biến khí AsH3 (Arsine) Prosense phân phối chính hãng tại Sensors Việt Nam

MUA CẢM BIẾN KHÍ ASH3 (ARSINE) CHÍNH HÃNG 100% TẠI SENSORS VIỆT NAM
Sensors Việt Nam hiện là đơn vị cung cấp các giải pháp đo lường, cảm biến và tự động hóa tiên tiến - trong đó có cảm biến khí AsH3 (Arsine). Chúng tôi sở hữu danh mục sản phẩm đa dạng, chính hãng và đến từ các ông lớn hàng đầu thế giới - tự tin đáp ứng toàn diện nhu cầu ứng dụng của khách hàng. 

Tại sao bạn nên chọn giải pháp/sản phẩm từ Sensors Việt Nam?

• Hàng chính hãng 100% từ các thương hiệu hàng đầu thế giới. 
• Hệ sinh thái thiết bị toàn diện.
• Giá cả cạnh tranh hàng đầu thị trường.
• Giao hàng nhanh chóng trên toàn quốc.
• Tư vấn giải pháp cá nhân hoá hoàn toàn miễn phí cùng đội ngũ kỹ sư chuyên nghiệp.
• Cam kết chất lượng sản phẩm - chính hãng, đầy đủ CO/CQ, bảo hành dài hạn.

Mọi thông tin chi tiết và nhu cầu đặt hàng cảm biến khí AsH3 (Arsine), bạn vui lòng liên hệ trực tiếp với Sensors Việt Nam để được hỗ trợ nhanh chóng, tận tình nhất!